台積電南科再生水廠預計3月完成主體建築，將致力產出優於進水品質要求的再生水，成為全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。

為持續降低自來水用水量，台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水，民國104年開始發展再生水技術，於105年打造全國第1條半導體工業再生水試產線，回收處理工業放流水。

台積電109年啟動南科再生水廠建廠工程，為台灣第1座民營再生水廠，預計110年3月完成主體建築，隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校，致力產出優於進水品質要求的再生水。

台積電還以全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術，取代添加化學藥劑的混凝沉降法，處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水，節省化學藥劑用量，同時產製品由原本的無機性汙泥，轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電指出，晶背研磨廢水資源化系統於109年7月在先進封測3廠正式啟動，至110年1月共計回收逾1.5萬公噸晶背研磨廢水，成功產製30公噸工業級矽產品。台積電預計111年擴大導入目前興建中的先進封測2廠第二期、先進封測6廠，朝資源永續的目標持續邁進。