水情吃緊 半導體廠戒備力求生產不受影響

水情吃緊,半導體製造廠無不高度戒備,不僅加強節水、提升用水回收率,並備妥水車或已啟動水車載水,預先做好相關規劃,只求生產不受影響。

隨著部分工業戶節水率自25日起提高至11%,產能滿載的晶圓代工與記憶體廠對於水情的警戒紛紛向上提升,繼台積電北、中、南部分廠區日前已開始執行以水車少量載水外,聯電竹科廠也跟進啟動水車載水。

台積電強調,並不是所有廠區都啟動水車載水,僅是部分廠區執行,且屬少量載水;一方面提高用水彈性,同時藉以熟悉相關作業程序,預先做好規劃。

聯電表示,水車載水除填補小缺口外,主要是考量水情嚴峻,先試行水車載水。據統計,25日出動不到10 輛水車載水。

力積電與華邦電雖尚未啟動水車載水,不過,皆已密切監控水情狀況,並備妥水車,一旦有需要便可啟動載水應急。

華邦電指出,經過多年不斷努力,至2019年全廠用水回收率約82%,製程水回收率約91%。因應當前水情吃緊情況,將進一步提升製程用水回收率,並減少廠內生活用水及景觀澆灌,降低全廠用水需求。

台積電一滴水使用3.5次,令各界印象深刻,2019年總回收水量達1.33億公噸,平均製程用水回收率約86.7%。台積電訂定的節水緊急應變計畫,還包含廚房節水、停止自動澆灌系統、暫停外牆清洗、民生及廁所用水減壓供應、暫停消防訓練用水,並在不影響生產下,延長純水及回收系統再生時間。

為降低自來水用水量,台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水,2015年開始發展再生水技術,於2016年打造全國第1條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水。

台積電2020年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第1座民營再生水廠,預計今年3月完成主體建築,隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水,成為全球第1個導入工業再生水的先進晶圓廠。

為確保生產不受影響,半導體製造廠已紛紛擬妥應變措施,並依水情變化執行。業者表示,最終還是希望水情能夠早日緩解。

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