台積電贈工研院半導體高階製程設備 助產學研發升級

工研院今天宣布，台積電捐贈工研院3部12吋半導體高階製程開發的化學蝕刻、疊對量測與關鍵尺寸量測設備，提升對產業界以及學術界的服務量能，並培育半導體高階人才，強化科技國力。

工研院電子與光電系統研究所所長張世杰表示，工研院深耕高階半導體材料、製程、晶片設計、元件封裝等技術開發，建構半導體系統設計、材料研發、元件製造、封裝測試與驗證等一條龍開發能量，並以「奈米電子實驗室」提供產業半導體薄膜、黃光、蝕刻等製程平台。

張世杰說，台積電捐贈3部12吋半導體製程設備，將有助工研院建立新技術及新產品的開發及試製環境，進一步協助新創公司及中小企業研發新產品，讓台灣在全球科技競爭力更上一層樓。

台積電技術研究副總經理曹敏說明，工研院長期建構與輔助國家半導體產業技術升級，這次藉由贈與工研院3套設備包括12吋化學蝕刻設備、疊對量測設備與關鍵尺寸量測設備，期能提供台灣接軌全球實務研發需求。