訪半導體研究中心 吳誠文驚見90年代引進首台CMP機台仍在運作

國科會主委吳誠文7日到臺灣半導體研究中心（TSRI）台南基地探訪同仁，驚訝於90年代引進的臺灣第一台化學機械研磨（CMP）機台，在同仁的悉心保養維護下，仍持續進行重要封裝製程工作，並發文細數，TSRI如何建構世界最領先指標性的學研整合平台。國科會主委吳誠文7日到臺灣半導體研究中心（TSRI）台南基地探訪同仁，驚訝於90年代引進的臺灣第一台化學機械研磨（CMP）機台，在同仁的悉心保養維護下，仍持續進行重要封裝製程工作，並發文細數，TSRI如何建構世界最領先指標性的學研整合平台。

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吳誠文7日到臺灣半導體研究中心台南基地探訪同仁，驚見90年代引進首台CMP機台仍在運作。（圖／翻攝自吳誠文臉書）[/caption]

吳誠文8日在臉書發文表示，7日到TSRI台南基地探訪同仁，該基地於2021年啟用，座落於成功大學力行校區一隅，能就近服務中南部學研教授及學生，串接大南方S廊帶產學研創新能量。

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吳誠文指出，TSRI新竹基地聚焦於新型元件材料開發，台南基地致力於建置智慧感測異質整合技術服務平台。在異質整合先進封裝技術，台積電驅動高速運算，TSRI補足擷取資料的感測器整合。

吳誠文提到，為了降低學研界及新創公司驗證成本，TSRI採用晶片級封裝技術，並使相關技術指標媲美量產級晶圓封裝技術。此晶片級智慧感測技術服務平台特色，包含晶片級微凸塊（microbump）、主被動元件之中介層（interposer）及可以整合運動、生化等感測器之CoCoB（Chip on Chip on Board）等技術。

另外，吳誠文對於90年代引進的臺灣第一台化學機械研磨（CMP）機台，在TSRI同仁的悉心保養維護下，仍持續進行重分布線層（RDL）和矽穿孔（TSV）等重要封裝製程工作，感到相當驚訝。

他說，自己見證了這台機台在中心全面升級8吋設備前的貢獻，也看見了晶圓薄化到可以透光、晶創及台美學研計畫成果的共乘晶片、2.5D氣體感測器及酒精測試展示、電源管理晶片應用系統及可於極低溫 4K 運作之量子電腦晶片等等。

除此之外，令吳誠文印象深刻的是，現場展示了一幅由TSRI同仁創作的「科技」與「藝術」對話的畫作，不但完美闡釋了人文與科技結合的火花，也喚起他在台南工作期間，穿過木麻黃樹林欣賞安平落日的美好回憶。

吳誠文還特別介紹該創作畫融合「科技」與「藝術」2個截然不同的領域。畫作分成4個區域，各自以不同手法表現主題。中間的窗型區塊以女性為主角，挑戰傳統對電機電子領域的性別觀念。左側區塊描繪安平夕照，以銅箔電路板為底，利用壓克力顏料和刮除技術展現光影效果。右側區塊下半部是台南市街道的銅板雕刻，呈現從太空俯視的視角，上半部分是夜空中從薄化晶圓透出紅光，象徵台南廟宇紅燈籠。底板描繪鳳凰花，象徵創作地和作者的母校－成功大學。

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