台積電打造氨氮廢水分流查核處理系統 年省1億元

台積電創新研發「氨氮廢水分流查核處理系統」，成功導入晶圓20廠第1期廠區，台積電估計有效降低外排廢水導電度40%及化學藥劑減量30%，年減碳8950公噸、綠色效益達新台幣1.02億元。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，台積電過去主要將機台排放的不同濃度氨氮廢水混合後統一處理，由於混合後的廢水濃度偏低，須先利用逆滲透技術提高氨氮濃度，再以脫氣膜技術強化去除效率，而逆滲透流程需額外的化學藥劑與設備運作成本。

台積電表示，為友善環境並減少藥劑使用，濕式清洗製程與廠務團隊共同開創「氨氮廢水分流查核處理系統」。第1階段，透過分析製程機台的排水行為，制訂濃度梯度分流規則與建立資料庫，精準辨識不同濃度的氨氮廢水。

第2階段則開發機台內聯管查核方法，完成晶圓20廠第1期廠區約1000台機台、共5887個排水點的分流查核，並優化排水配置及軟體設定，確保不同類型的廢水安全輸送至適合的處理措施，優化管理效率。

台積電指出，經過前2階段的改良，無須經過逆滲透流程，氨氮廢水濃度已提升至原先的2倍，可有效降低藥劑用量、廢棄物產生並節約能源。

第3階段，團隊進一步反覆測試，掌握氨氮濃度、水量、硫酸銨濃度、排放氨氮濃度之間的最佳比例，將不同濃度的氨氮廢水分流至生物處理系統與脫氣膜，再分別轉化為微生物營養源及硫酸銨，展現資源循環新價值。

台積電表示，開發防治技術是推動水資源管理的重要策略，氨氮廢水分流查核處理系統已列入未來新建廠區標準設計，並逐步導入7奈米以下製程的晶圓廠，精進廢水處理效率。

台積電指出，公司同時積極探索低濃度含氟廢水轉化為高純度冰晶石的可行性，透過創新技術驅動資源循環，落實水管理的永續願景。