鈦昇科技將於SEMICON Taiwan 2024展示玻璃基板及多項尖端技術

鈦昇科技（8027）— Advanced Laser & Plasma Provider，先進雷射與電漿解決方案的創新者，值此成立30周年之際在技術與研發量能上也迎來關鍵突破，並將於2024年SEMICON Taiwan展示多項主題，包括下一世代先進封裝的重要材料——玻璃基板、FOPLP面板級扇出型封裝，以及先進封裝製程中的雷射與電漿解決方案和拉曼檢測（Raman Inspection）技術。

玻璃基板解決方案

鈦昇憑藉自行研發的TGV技術，籌組了E-Core玻璃基板供應商大聯盟（Ecosystem大聯盟），與多家在地優質半導體設備、視覺影像與檢測設備商、半導體材料以及關鍵零組件廠商合作，聯合發展玻璃基板中的核心技術——Glass Core製程。此次展會，鈦昇將首度展示聯盟共同完成的尺寸為515*510mm的玻璃glass core樣品，涵蓋了從雷射改質、蝕刻通孔、種子層鍍膜等製程。這也是台灣在地廠商共同努力下的首個公開成果。

此外，鈦昇亦提供針對ABF後玻璃雷射切割的雷射倒角（Laser Beveling）與雷射拋光（Laser Polishing）解決方案。

FOPLP面板級扇出型封裝

鈦昇提供FOPLP面板級扇出型封裝製程（尺寸從300*300mm到700*700mm）的成熟量產型設備，包括雷射打印（Laser Marking）、切割（Laser Cutting）、鑽孔後的電漿清洗（Plasma Cleaning）、去污（De-smear）、雷射解膠（Laser Debond），解膠後清洗（Plasma Descum）和ABF鑽孔（ABF Drilling）。其翹曲處理能力出色，能達16mm，同時能保持高效產出。

電漿切割（Plasma Dicing）– 小晶片切割（Small Die Dicing）

鈦昇提供結合雷射開槽（Laser Grooving）與電漿切割（Plasma Dicing）的混合解決方案，將切割通道精確控制在10μm至30μm之間。除了設備製造，鈦昇亦提供一站式All-in-one小晶片切割代工服務，能將晶圓加工成各種形狀的小晶片，如六角形、圓形或MPR形狀，滿足客戶多元化需求。

誠邀蒞臨鈦昇科技於SEMICON Taiwan 2024南港展覽館一館4F展位#N0968，共同探討先進封裝製程技術新趨勢。